Дефекты в кремнии и на его поверхности
Вавилов, Киселев, Мукашев.
Рассмотрены процессы образования дефектов в кристаллическом кремнии. Дан анализ микроструктуры дефектов, приведены сведения об энергетическом спектре локальных электронных состояний, связанных с различными типами дефектов в объеме и на поверхности кристаллов кремния. Рассказано о процессах миграции дефектов, их взаимодействиях друг с другом я с примесями. Для физиков и инженеров, занятых фундаментальными исследованиями и решением практических задач современной "кремниевой" микроэлектроники, а также для студентов старших курсов соответствующих специальностей.
种类:
年:
1990
出版社:
Наука
语言:
russian
页:
108
ISBN 10:
5020140236
ISBN 13:
9785020140233
系列:
Физика полупроводников и полупроводниковых приборов, ФПИПП
文件:
DJVU, 2.94 MB
IPFS:
,
russian, 1990